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Simulation, design, and analytical modelling of passive convective micromixers for chemical production purposes
Michael Engler
Micromechanical tunable fabry-pérot interferometers with membrane bragg mirrors based on silicon/silicon carbonitride
Christian HuberCharacterization and reliability testing of thin-film materials for robust MEMS sensors
Radoslav RusanovUltra-thin chip embedding and interconnect technology for system-in-foil applications
Mahadi Ul HassanImproving the performance of gas sensor systems with advanced data evaluation, operation, and calibration methods
Manuel BastuckInjektionssystem und Massenflussregler in Mikrosystemtechnik für die Gaschromatographie
Olaf Krusemark
Beitrag zur Untersuchung von passiven planaren Hochgeschwindigkeitsmagnetlagern für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik
Markus KlöpzigFlexibel automatisiertes Zweikomponenten-Spritzgießen, Abtrennen und Montieren mikrooptischer Systeme aus Kunststoff
Gábor JüttnerPlasmagestützte Ionenquelle in Mikrosystemtechnik für den Einsatz in einem miniaturisierten Massenspektrometer
Peter SiebertEntwicklung einer Feldemissionselektronenquelle basierend auf Siliziumstrukturen für den Einsatz in einer miniaturisierten Röntgenquelle
Christian PrommesbergerEinsatz der Lasertechnik in der Mikrosystemtechnik am Beispiel der Metallisierung durch UV-laserinduzierte Prozesse
Hartmut FrerichsTechnologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors
Nils Rasmus BehnelIntegration von kinetischen Umgebungsenergiewandlern in energieautarke Sensorsysteme für Industrie 4.0-Anwendungen
Lukas LamprechtEntwicklung eines Verfahrens zur Bestimmung der mechanischen Festigkeit und Dichtheit von metallischen Bondschichten mikromechanischer Inertialsensoren
Arnold SchneiderMaterialabtrag mit intensiven, ultrakurzen Laserpulsen für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik
Jürgen JandeleitMiniaturisiertes Dosiersystem zur geregelten Dosierung von Tinte in einem Schreibgerät
Günther WaibelUntersuchung zum Einsatz von mikrostrukturierten Halbleitergassensoren in der heutigen Gebäudebrandmeldertechnik
Zafer AnkaraEntwurf und Realisierung von Messplattformen zur effizienten Entwicklung intelligenter Gasmesssysteme
Thomas KammererHerstellung von mikrostrukturierten Oberflächen in Glas und Polymer durch replikative Verfahrenstechnologien
Peter MerzChrom- und Titan-dotiertes Aluminiumoxid zur Herstellung eines abstimmbaren integriert-optischen Lasers
Matthias MahnkeGasmesssysteme basierend auf Halbleitergassensoren für sicherheitskritische Anwendungen mit dem Ansatz der Sensorselbstüberwachung
Peter ReimannEntwicklung und Charakterisierung eines modularen Gasmesssystems, basierend auf einer Kombination aus Halbleitergassensorik und Infrarotmesstechnik
Karsten KühnEntstickung der Rauchgase eines Steinkohlekraftwerkes mittels SNCR-Verfahren auf Basis eines neuen Modells der Temperaturverteilung im Dampferzeuger
Christian NeuEntwicklung und Analyse von passiven Mikrobrennstoffzellen für hochdynamische portable Anwendungen
Matthias Weiland