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Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau

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Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau, Manuela Klaus

Langue
Année de publication
2009
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(souple)
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Titre
Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau
Langue
Allemand
Publié
2009
Format
souple
Pages
117
ISBN10
3798321450
ISBN13
9783798321458
Séries