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Poröses Silizium (PS) spielt eine entscheidende Rolle in verschiedenen technologischen Anwendungen, darunter Optoelektronik, Sensoren und Mikrobearbeitung. Es wird auch in der Photovoltaik und biomedizinischen Bereichen eingesetzt. Die Herstellung von PS erfolgt meist durch anodisches Ätzen in HF-basierten Lösungen oder durch Fleckenätzen. Besonders hervorzuheben ist die metallunterstützte chemische Ätzmethode, die schneller zu gleichmäßigem PS führt und keine externe Vorspannung benötigt, was sie effizienter macht als die herkömmliche Fleckenätzmethode.
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Hauptbestandteil von Solarzellen, Awad Mogoda
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- 2021
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