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In der Dünnschichtbearbeitung ermöglicht die eingeschlossene Laserablation mit ultrakurzen Pulsen einen hocheffizienten und präzisen Abtrag einzelner Schichten. Die dabei erzeugten Strukturen sind frei von thermischer Schädigung. Dieses Buch informiert den Prozessingenieur über die dazu erforderlichen Laser- und Materialparameter. Darüber hinaus werden die transienten physikalischen Mechanismen bei der direkten und eingeschlossenen Laserablation von dünnen Metallschichten mittels zeitaufgelöster Mikroskopie dargestellt. Short summary In thin-film processing the confined laser ablation with ultrashort pulses enables very efficient and precise ablation of individual layers. The produced structures are free from thermal damage. This book informs the process engineer about the required laser and material parameters. Moreover, the transient physical mechanisms of direct and confined laser ablation of thin metal films are revealed using time-resolved microscopy.
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Transiente physikalische Mechanismen bei der Laserablation von dünnen Metallschichten, Matthias Domke
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- 2015
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