The International Symposium on ElectroChemical Machining Technology INSECT has established as a platform for well-chosen topics in ECM technology. In 2009, researchers and engineers are engaged in fundamental investigations of the electrode/electrolyte interface and applied material science as well as a wide variety of electrochemical topics. The special focus is on technical aspects like quality, efficiency and equipment development.
Advanced ceramic oxides play a dominant role in electronics as functional films with dielectric, piezoelectric, ferroelectric or superconducting properties. For integration of these films into passive or active devices different technologies such as electrochemical and thermal formation or CVD and PVD (chemical or physical vapour deposition) are established. In this treatise the effect of fabrication technology on the film properties is studied with focus on electrochemical formation. As one important example for electrochemical dielectric film formation, Ta-capacitor manufacturing is discussed. It is shown that anodic valve metal oxide films are promising as „high k“ materials for active devices such as DRAM storage capacitors or MOSFET gate oxides as well. For characterization of oxide films at high lateral resolution, the new method of SAME (spectroscopic anisotropy micro-ellipsometry) is introduced.
Dieser Band enthält die Beiträge des Symposiums »Anodisieren - Oxidschichten von hart bis smart«, das am 24. und 25. November 2016 am Fraunhofer IKTS in Dresden stattfand. Die Schwerpunkte des Symposiums waren: - Grundlagen des Anodisierens - Anforderungen an Anodisierschichten aus Sicht der Anwender - Anodisierschichten als Templates oder Membranen in der Nanotechnologie - Plasmaelektrolytische Anodisation - Anodisieren als Vorbehandlungsverfahren Auf dem Symposium diskutierten Grundlagenforscher und anwendungsorientierte Wissenschaftler, Ingenieure sowie kommerzielle Nutzer von Anodisierschichten und -prozessen. Das Anodisieren wurde in den Vorträgen in seiner ganzen Breite abgebildet. Beginnend mit grundlagenorientierten Fragen zur anodischen Oxidschichtbildung behandelte ein großer Teil der Vorträge die gezielte Einstellung gewünschter Strukturen der Oxidschichten für spezielle Anwendungen im Korrosions- und Verschleißschutz, der Energietechnik sowie der Bio- und Nanotechnologie. Das Fazit: Die Anwendungsgebiete des Anodisierens haben sich deutlich erweitert. Dies zeigt das große Potenzial des Anodisierens bei der Suche nach besseren Werkstoffen und neuen Technologien.
Dieser Band enthält die Beiträge des Symposiums »Anodisieren - Oxidschichten von hart bis smart«, das am 24. und 25. November 2016 am Fraunhofer IKTS in Dresden stattfand. Die Schwerpunkte des Symposiums waren: - Grundlagen des Anodisierens - Anforderungen an Anodisierschichten aus Sicht der Anwender - Anodisierschichten als Templates oder Membranen in der Nanotechnologie - Plasmaelektrolytische Anodisation - Anodisieren als Vorbehandlungsverfahren Auf dem Symposium diskutierten Grundlagenforscher und anwendungsorientierte Wissenschaftler, Ingenieure sowie kommerzielle Nutzer von Anodisierschichten und -prozessen. Das Anodisieren wurde in den Vorträgen in seiner ganzen Breite abgebildet. Beginnend mit grundlagenorientierten Fragen zur anodischen Oxidschichtbildung behandelte ein großer Teil der Vorträge die gezielte Einstellung gewünschter Strukturen der Oxidschichten für spezielle Anwendungen im Korrosions- und Verschleißschutz, der Energietechnik sowie der Bio- und Nanotechnologie. Das Fazit: Die Anwendungsgebiete des Anodisierens haben sich deutlich erweitert. Dies zeigt das große Potenzial des Anodisierens bei der Suche nach besseren Werkstoffen und neuen Technologien.
Dieser Band enthält die Beiträge des Symposiums „Anodisieren - vom Korrosionsschutz bis zur Nanotechnologie“, welches am Fraunhofer IKTS Dresden vom 29. Bis zum 30. November 2012 gehalten wurde.. Die Schwerpunkte des Symposiums behandelten: - Grundlagen des Anodisierens - Anforderungen an Anodisierschichten aus Sicht der Anwender - Anodisierschichten als Template in der Nanotechnologie - Anodisieren als Vorbehandlungsverfahren - Industrielle Anwendungen Auf dem Symposium gab es einen Austausch von Grundlagenforschern und anwendungsorientierten Wissenschaftlern, Ingenieuren sowie kommerziellen Nutzern von Anodisierschichten und -prozessen. Das Anodisieren wurde in den Vorträgen in seiner ganzen Breite abgebildet. Beginnend mit grundlagenorientierten Fragen zur anodischen Oxidschichtbildung behandelte ein großer Teil der Vorträge die gezielte Einstellung gewünschter Strukturen der Oxidschichten für spezielle Anwendungen im Bereich Korrosions- und Verschleißschutz, der Medizin- und Elektrotechnik, der Flugzeugindustrie, aber auch der Energiespeichertechnik und Nanotechnologie. Es lässt sich feststellen, dass das Anodisieren ein großes Potenzial bei der Suche nach besseren Werkstoffen und im Bereich neuer Technologien besitzt.
Die Schwerpunkte des Symposiums behandelten: - Grundlagen zu elektrochemischen Speichern - Beiträge zu nichtelektrochemischen Untersuchungsmethoden - In-situ- und In-operando-Messmethoden - Chancen und Grenzen elektrochemischer Messverfahren Auf dem Symposium gab es einen Austausch von Grundlagenforschern und anwendungsorientierten Wissenschaftlern, Ingenieuren und Herstellern elektrochemischer Messtechnik. Die Untersuchungen zu den grundlegenden Mechanismen elektrochemischer Energiespeicherung wurden in den Vorträgen in großer Vielfalt abgebildet. Intensiv wurden Fragen der messtechnischen Limitierung diskutiert und neuartige Untersuchungsansätze vorgestellt. Es lässt sich feststellen, dass das neben erheblichen Fortschritten auch weiterhin offene Fragen zu beantworten sind, damit sich die elektrochemischen Speicher als ein echter Beitrag zur Energiewende durchsetzen.