Effiziente Fertigungsverfahren für die dreidimensionale Mikrostrukturierung sind vor dem Hintergrund der branchenübergreifenden Miniaturisierung zahlreicher Produkte von hoher wirtschaftlicher Bedeutung. Aufgrund ihrer hervorragenden mechanischen Eigenschaften, der im Allgemeinen sehr hohen Verschleißfestigkeit und ihrer chemischen Stabilität kommen in entsprechenden Anwendungen vermehrt keramische Werkstoffe zum Einsatz. Für die wirtschaftliche Produktion in sehr kleinen bis mittleren Stückzahlen hat sich die spanende Bearbeitung dieser spröden und harten Werkstoffe durch Mikroschleifen aufgrund der Flexibilität als geeignet erwiesen.
