Die Röntgenmikroskopie ist eine effektive Methode zur Analyse biologischer Proben, da sie unverfälschte Präparate untersucht. Um die Vorteile harter Röntgenstrahlung, wie kleinere Wellenlängen und größere Eindringtiefen, zu nutzen, sind spezielle Optiken erforderlich. Multilagenzonenplatten (MZP) aus dünnen Schichten bieten vielversprechende optische Elemente, vorausgesetzt, sie weisen glatte und wohldefinierte Multilagen auf. Durch die Kombination von gepulster Laserdeposition (PLD) und Focused Ion Beam (FIB) wurde eine Methode entwickelt, die diese Anforderungen erfüllt. Mit einer solchen MZP konnte der weltweit kleinste Röntgenfokus mit weniger als 5 nm erzeugt werden. Um diesen extrem kleinen Strahl für mikroskopische Anwendungen zu nutzen, waren Verbesserungen in der MZP-Geometrie notwendig. Ein tiefes Verständnis der zugrunde liegenden Prozesse, wie Targetveränderungen und Rückstreueffekte während der Herstellung, war entscheidend. Analysen mit komplementären Methoden wie Röntgendiffraktometrie (XRD), -reflektometrie (XRR), Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und SDTrimSP-Simulationen führten zur Realisierung von MZPs, die mikroskopische Untersuchungen im Bereich von 50 nm ermöglichen und das Potenzial für Auflösungen im sub-10 nm Bereich besitzen.
