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- 113pages
- 4 heures de lecture
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This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.
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Chemistry of Atomic Layer Deposition, Seán Thomas Barry
- Langue
- Année de publication
- 2021
- Reliure
- (souple)
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- Titre
- Chemistry of Atomic Layer Deposition
- Langue
- Anglais
- Auteurs
- Seán Thomas Barry
- Éditeur
- De Gruyter
- Publié
- 2021
- Format
- souple
- Pages
- 113
- ISBN10
- 3110712512
- ISBN13
- 9783110712513
- Séries
- Mots clés
- Sciences naturelles, Science, Technologie, Littérature spécialisée, Manuels de chimie, Électronique, Chimie Inorganique, Métallurgie
- Description
- This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.