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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System, Ernst-Christian Richter
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- 2022
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- Titre
- Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
- Sous-titre
- DE
- Langue
- Allemand
- Auteurs
- Ernst-Christian Richter
- Éditeur
- utzverlag GmbH
- Publié
- 2022
- Format
- souple
- Pages
- 88
- ISBN13
- 9783831686353
- Séries
- Mots clés
- Nonfiction, Science et Mathématiques, La nature, Sciences naturelles, Chimie
- Description
- Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System