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Mikrosystemtechnik

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen

Auteurs

Ulrich Hilleringmann

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Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

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Mikrosystemtechnik, Ulrich Hilleringmann

Langue
Année de publication: 2006,
État du livre: Bon
Prix: 14,06 €

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Titre: Mikrosystemtechnik
Sous-titre: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Langue: Allemand
Auteurs: Ulrich Hilleringmann
Éditeur: Teubner
Publié: 2006
ISBN10: 3835100033
ISBN13: 9783835100039
Séries: Lehrbuch : Elektrotechnik
Mots clés: Manuels
Description: Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.